在洁净室的日常维护工作中，仪器仪表的作用相当于一面镜子，监督洁净室运行的状态。

主要仪器和仪表一览：

       1、风压测试仪器:主要用于测定洁净室之间和洁净与非洁净区之间微压差，也可利用压差法测量风速，计算风量。

       (1)液体压力计:液体压力计具有使用方便、价格低廉、精确度较高、制造安装方便等优点，但有测量范围受限制、玻璃管易碎等缺点。

      常用的工作液体有:酒精、水、水银等，在洁净室测量中主要是酒精和水。

       液体压力计主要有:∪型管压力计、斜管压力计、补偿式压力计。

      (2)弹簧压力计:弹簧压力计是根据弹簧元件在所测压力作用下发生变形，其变形量与所测压力成函数关系这一原理制成的,其优点是构造简单、便于携带、安装方便、价格低廉。常用的弹簧压力计主要有:弹簧管压力计、膜片管压力计和膜核压力计。

      (3)电学压力计: 电学压力计是利用压电原理或高压下电阻变化等电学方法来测定压力的压力计，适用于测量变化极快、数值很高或近乎真空时的压力。

       2、风速和风量测试仪器:

       (1)风速测量仪的作用原理有:机械式、散热率式和动力测压式等。

           a.机械式风速仪:如翼形风速仪，它是利用流动气体的原动压推动机械装置来显示其流速的仪表。

           b.散热率式风速仪:是根据流体中受热物体的散热率与流体流速成正比关系制成,测定传感器的散热率，即能测到流体的流速。常用的散热率式风速仪有:热线风速仪和热球风速仪等。

       (2)风量测量仪:在洁净室中总风量的测试常用风管法，各房间送回风量多用风口法进行测量，其原理为平均风速乘以断面面积。

       3、洁净度测试仪:

       a.尘埃粒子的检测仪表:目前洁净室洁净度的检测主要用光散射尘埃粒子计数器，它又分为白炽灯光尘埃粒子计数器和激光尘埃粒子计数器。

       4、温度测试仪：统称温度计，按其工作原理可分为膨胀式温度计、压力式温度计、热电偶温度计和液体膨胀时温度计。